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皮拉尼真空傳感器 - F6000

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超低功耗<5毫瓦
快速響應(yīng)時間<5毫秒
耐沖擊至1000g
可測量氣體體積最低至0.1 cm3
低噪聲
高分辨率
同一芯片上進行溫度傳感
長期穩(wěn)定
可用溶劑浸泡清洗，延長使用壽命

產(chǎn)品型號：: F6000

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產(chǎn)品介紹

皮拉尼真空傳感器F6000產(chǎn)品描述

F6000系列MEMS皮拉尼真空傳感器提供了一個突破性的真空測量方案。該傳感器外形微小，同時又具有超低功耗，長壽命，低現(xiàn)場維護，和低成本的優(yōu)點。

依據(jù)“氣體熱導系數(shù)與低真空范圍壓力成正比”的原理，F(xiàn)6000系列真空傳感器測量加熱元件上由于傳熱到周圍的氣體而導致的細微的電阻變化。
該加熱元件（即測量電阻）是由一個置于一張隔熱膜上的鉑薄膜電阻構(gòu)成。隔熱膜懸覆在一個微加工的25祄深空腔上，空腔底部表面與隔熱膜平行，以確保精密測量傳熱率。由于被測氣體體積極小（即空腔容積?。?，煒盛傳感器能夠提供超低的功耗和快速的響應(yīng)時間。
F6000系列真空傳感器還提供了一個與測量電阻具有相同電阻溫度系數(shù)（TCR）的基準電阻，布置在傳感器芯片基板上。傳感器電路可用它來進行環(huán)境溫度補償。

由于具有可靠性高，成本低，使用簡便和超低功耗的逐項優(yōu)點，采用MEMS工藝加工的，微型化的皮拉尼技術(shù)正在成為一個行業(yè)標準。F6000 系列MEMS皮拉尼真空傳感器可以幫助客戶充分利用這一趨勢，以改善其現(xiàn)有的產(chǎn)品和開發(fā)新的產(chǎn)品。