瑞士IST 熱式質(zhì)量流量傳感器 - MFS02

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對(duì)腐蝕性氣體和蒸氣具有高耐化學(xué)性
不同的靈敏度與電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)可供選擇
支持用戶訂制
可測(cè)量流向

瑞士IST 熱式質(zhì)量流量傳感器MFS02 適用于快速響應(yīng)的氣體流量及方向測(cè)量

瑞士IST 熱式質(zhì)量流量傳感器MFS02 特點(diǎn)：

對(duì)于大流量與快速響應(yīng)的應(yīng)用，CTA模式下有極高分辨率

適用于通過(guò)橋式電路測(cè)量極低流量與泄漏檢測(cè)應(yīng)用

CTA模式下極高的測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍(10‘000‘000 : 1)，非旁路模式

對(duì)腐蝕性氣體和蒸氣具有高耐化學(xué)性

不同的靈敏度與電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)可供選擇

支持用戶訂制

可測(cè)量流向

瑞士IST 熱式質(zhì)量流量傳感器MFS02 參數(shù)：

參數(shù)
尺寸 (L / L2 x W x H / H2 in mm)
芯片	5.0 x 3.4 x 0.5
PCB標(biāo)準(zhǔn)	38.2 x 10.8 x 1.0 / 2.0
PCB裸露	34.2 / 37.4 x 10.8 x 1.0 / 2.0
測(cè)量范圍	0 m/s to 1.5 m/s (全橋模式) 0 ml/min to 100 ml/min (全橋模式) 0 m/s to 150 m/s (CTA模式) 0 l/min to 10 l/min (CTA模式)
zui小測(cè)量范圍	0 ml/min to 1 ml/min
響應(yīng)靈敏度	0.0003 m/s (20 microliter/min)
測(cè)量精度	<真實(shí)值2%(取決于電路與校準(zhǔn))
響應(yīng)時(shí)間 t63	< 10 ms
溫度范圍（芯片）	-40 °C to +160 °C
溫度范圍（氣體）	-40 °C to +80 °C (最多比芯片溫度低 +80 °C)
溫度靈敏度	< 0.1 % / K (取決于電路設(shè)計(jì))
連接方式	焊盤連接