荷蘭Xensor 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - XEN-3880-RW-3
氫,氦和天然氣測(cè)量
用氦測(cè)試氫系統(tǒng)
包裝和真空系統(tǒng)的真空測(cè)量
氣體濃度測(cè)量
產(chǎn)品介紹
荷蘭Xensor 熱導(dǎo)式氣體傳感器 XEN-3880-RW-3描述:
XEN-3880-RW-3導(dǎo)熱系數(shù)計(jì)測(cè)量周?chē)臒釋?dǎo)率氣體,原理是氣體的不同它們的導(dǎo)熱性好,可以用來(lái)測(cè)量氣體濃度在二元混合物或準(zhǔn)二元混合物,其中成分氣體具有不同的導(dǎo)熱系數(shù),也可以是用于測(cè)量真空系統(tǒng)中的壓力。
傳感器芯片由一個(gè)硅框架和一個(gè)合成膜,中間是一個(gè)加熱器,用熱電堆測(cè)量它的溫度和芯片之間的熱導(dǎo)率測(cè)量環(huán)境和膜的中心。在薄膜和頂部有一個(gè)硅蓋(屋頂)帶有過(guò)濾器的焊接帽(W)抑制流量敏感度。
荷蘭Xensor 熱導(dǎo)式氣體傳感器 XEN-3880-RW-3特點(diǎn):
二元和準(zhǔn)二元混合物中氣體的長(zhǎng)期穩(wěn)定分析
高靈敏度和分辨率
工作溫度:-250℃~ 150℃
濕度:0 ~ 95% RH,無(wú)冷凝
流量靈敏度可忽略不計(jì)
荷蘭Xensor 熱導(dǎo)式氣體傳感器 XEN-3880-RW-3應(yīng)用:
氫,氦和天然氣測(cè)量
用氦測(cè)試氫系統(tǒng)
包裝和真空系統(tǒng)的真空測(cè)量
氣體濃度測(cè)量
荷蘭Xensor 熱導(dǎo)式氣體傳感器 XEN-3880-RW-3參數(shù):
參數(shù)體積 |
|
尺寸厚度(mm3 ) |
2.5*3.33*0.3 |
TO-5頭(mm2) |
9 Ф x 6
|
長(zhǎng)度引腳(mm) |
13.5 |
TO-5重量(g) |
0.71 |
TO-5 +蓋子+過(guò)濾器重量(g) |
1.05 |
輸出 | |
< 1mpa (V/W)的真空 |
130 |
空氣壓力100kpa (V/W) |
30 |
空氣壓力10 MPa (V/W) |
26 |
在100kpa (V/W)的氦中 |
7 |
在10mpa (V/W)的氦中 |
6.9 |
時(shí)間常數(shù) |
|
空氣中(毫秒) |
9 |
真空中(毫秒) |
36 |
穩(wěn)定性 |
|
短期1天(ppm) |
1 |
長(zhǎng)期1年(ppm) |
300 |
熱敏電阻 |
|
膜(kK / W) |
100 |
膜+空氣(kK/W) |
23 |
大加熱電壓 |
|
空氣中(V) |
2.5 |
真空(V) |
1 |
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